洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级-GB/T 25915.9-2018

时间:2018-12-31 00:06 作者: 点击:次

GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。 本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05 μm～500 μm的粒子。 本部分对以下事项未予考虑： ——特定工艺的洁净度及适合性要求； ——表面的清洁步骤； ——材料特性； ——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项； ——分级和测试统计方法的选择和使用； ——粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。